■ 重點(diǎn)注意事項(xiàng)：

1 、人流

1-1 、人員凈化：

1-2 、潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室；

1-3 、單人空氣吹淋室，應(yīng)按最大班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過(guò)5 人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門；

1-4 、空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開(kāi)啟，應(yīng)采取連鎖控制措施；

1-5 、空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5 級(jí)的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

2 、物流

2-1 、 潔凈室 內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施。

2-2 、物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

3 、靜壓差

3-1 、不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

3-2 、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；

3-3 、潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。  

4 、根據(jù)生產(chǎn)要求需設(shè)計(jì)相應(yīng)防靜電設(shè)施。

5 、 電子工業(yè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)表    ：

注：按不同的測(cè)量方法，各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過(guò)3位。